Messsystem
ASML YieldStar S-200B

Baujahr
2011
Zustand
Gebraucht
Standort
Dresden Deutschland
Messsystem ASML YieldStar S-200B
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ASML YieldStar S-200B
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Daten zur Maschine

Maschinenbezeichnung:
Messsystem
Hersteller:
ASML
Modell:
YieldStar S-200B
Baujahr:
2011
Zustand:
sehr gut (gebraucht)
Funktionsfähigkeit:
voll funktionsfähig

Preis & Standort

Standort:
Heilbronner Str. 22, 01189 Dresden, Deutschland Deutschland
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Details zum Angebot

Inserat-ID:
A19967480
Referenznummer:
DV10125
Aktualisierung:
zuletzt am 10.09.2025

Beschreibung

Optisches Overlay-Metrologie-System, Advanced Semiconductor Materials Lithography Stand-alone Overlay-Metrologie-System für 300 mm Wafer, YieldStar S 200B

Modell: S200B
Typ: YieldStar
Baujahr: 2011

Technische Daten:
Wafergröße: 300mm (12")
Laserquelle: LPPS, Wasserkühlung

Allgemeines:
Das YSS200B ist ein optisches Overlay-Messsystem, das zur schnellen und hochpräzisen Messung von Overlay-Abweichungen auf 300-mm-Wafern eingesetzt wird – typischerweise zur Überwachung nach dem Ätzen für die Produktionsprozesssteuerung als eigenständiges System.
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