MesssystemASML
YieldStar S-200B
Messsystem
ASML
YieldStar S-200B
Baujahr
2011
Zustand
Gebraucht
(voll funktionsfähig)
Standort
Dresden 

Daten zur Maschine
- Maschinenbezeichnung:
- Messsystem
- Hersteller:
- ASML
- Modell:
- YieldStar S-200B
- Baujahr:
- 2011
- Zustand:
- sehr gut (gebraucht)
- Funktionsfähigkeit:
- voll funktionsfähig
Preis & Standort
- Standort:
- Heilbronner Str. 22, 01189 Dresden, Deutschland

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Details zum Angebot
- Inserat-ID:
- A19967480
- Referenznummer:
- DV10125
- Aktualisierung:
- zuletzt am 10.09.2025
Beschreibung
Optisches Overlay-Metrologie-System, Advanced Semiconductor Materials Lithography Stand-alone Overlay-Metrologie-System für 300 mm Wafer, YieldStar S 200B
Modell: S200B
Typ: YieldStar
Baujahr: 2011
Technische Daten:
Klsdpfx Acjxbnt Eekeu
Wafergröße: 300mm (12")
Laserquelle: LPPS, Wasserkühlung
Allgemeines:
Das YSS200B ist ein optisches Overlay-Messsystem, das zur schnellen und hochpräzisen Messung von Overlay-Abweichungen auf 300-mm-Wafern eingesetzt wird – typischerweise zur Überwachung nach dem Ätzen für die Produktionsprozesssteuerung als eigenständiges System.
Modell: S200B
Typ: YieldStar
Baujahr: 2011
Technische Daten:
Klsdpfx Acjxbnt Eekeu
Wafergröße: 300mm (12")
Laserquelle: LPPS, Wasserkühlung
Allgemeines:
Das YSS200B ist ein optisches Overlay-Messsystem, das zur schnellen und hochpräzisen Messung von Overlay-Abweichungen auf 300-mm-Wafern eingesetzt wird – typischerweise zur Überwachung nach dem Ätzen für die Produktionsprozesssteuerung als eigenständiges System.
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