Generator
UHV deposition system Ebeam-sputter

VB zzgl. MwSt.
55.000 €
Zustand
Gebraucht
Standort
Budel Niederlande
Generator UHV deposition system Ebeam-sputter
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Daten zur Maschine

Maschinenbezeichnung:
Generator
Hersteller:
UHV deposition system
Modell:
Ebeam-sputter
Zustand:
gebraucht

Preis & Standort

VB zzgl. MwSt.
55.000 €
Standort:
Albert Plesmanstraat 3, 6021 PR Budel, Nederland Niederlande
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Details zum Angebot

Inserat-ID:
A16976251
Aktualisierung:
zuletzt am 02.09.2024

Beschreibung

UHV-Beschichtungsanlage (E-Beam-Sputter)



UHV-Beschichtungsanlage:

Wurde für die Abscheidung von Titan-Gold verwendet (ebeam)
Ebeam-Beschichtungseinheit wird entfernt
Kryopumpe und Vorpumpe wurde entfernt
Schleuse:
für Proben rund 75mm
Inkl. Probenheizung
450l/s Turbomolekularpumpe (Leybold)
Prozesskammer:
Größe: Breite 680mm x Höhe 750mm x Tiefe 590mm
Inkl. Abschirmung
Doppelflügelige Tür (teilweise gepumpt)
Heizungen
Basisdruck niedrig 10-7mbar, hoch 10-8mbar
Elektronik:
Tsdpfsuhcn Nsx Afbjf
Baseline-Schrank (E-Beam-Einheit entfernt)
Alte SPS (für Pumpe/Belüftung)
Gasschrank/Wasser:
Verschiedene Ventile/Durchflussreduzierer für Gas und Wasser


Hinweis: D&M Vacuumsystems kann die Anlage auf neue Prozesse (E-Beam oder Sputter) aufrüsten, inkl. neuer Elektronik und Software



EUR 55.000,-

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