Wafer Front-End Module 300mmBROOKS ASYST
Spartan EFEM Sorter
Daten zur Maschine
- Maschinenbezeichnung:
- Wafer Front-End Module 300mm
- Hersteller:
- BROOKS ASYST
- Modell:
- Spartan EFEM Sorter
- Baujahr:
- 2010
- Zustand:
- gebraucht
Preis & Standort
- Standort:
- Heilbronner Str. 22, 01189 Dresden, Deutschland
Details zum Angebot
- Inserat-ID:
- A20798077
- Referenznummer:
- LW43278
- Aktualisierung:
- zuletzt am 05.01.2026
Beschreibung
Modell: ASYST Spartan EFEM
Typ: Sorter
Zustand: Gebraucht
Technische Daten:
100-240V AC
50/60Hz
10A
Allgemeines:
300-mm EFEM mit 3 Loadports, Reinraum-Minienvironment und integriertem Wafer-Transfer-Roboter
Dieses Gerät ist ein Equipment Front End Module (EFEM) der Baureihe ASYST Spartan, entwickelt für die vollautomatisierte Handhabung von 300-mm-Siliziumwafern in der Halbleiterfertigung.
Es besitzt drei Loadports, ein Mini-Environment mit ULPA-Luftfiltern, interne Beleuchtung, umfassende Sicherheitssteuerungen sowie alle erforderlichen Schnittstellen zur Anlagenintegration.
Zusätzlich ist ein voll integrierter Wafer-Transfer-Roboter verbaut, der Wafer aus den FOUP-/Kassetten-Loadports entnimmt, vereinzelt und präzise an nachfolgende Prozessmodule übergibt.
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Baujahr: 27.12.2010
inkl. CD mit Bedienungs-, Service- und Installationshandbücher (9701-3060-01 Rev G)
Anbieter
Registriert seit: 2014
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Maschinensucher zertifiziert ausgewählte Händler mit dem Maschinensucher-Vertrauenssiegel. Vor Erteilung erfolgt eine standardisierte und umfangreiche Prüfung durch erfahrene Maschinensucher-Mitarbeiter.
Was prüfen wir?
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Prüfung der
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Validierung der
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Verifizierung der
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Wirtschaftsauskunft
darf keine Negativmerkmale ergeben
Käuferbeschwerden
können zum Entzug des Siegels führenWas bedeutet das für Sie als Käufer?
Durch das Maschinensucher-Vertrauenssiegel können Sie als Käufer ohne eigene Prüfung vertrauenswürdige Händler erkennen, die mit sehr hoher Wahrscheinlichkeit ehrliche und rechtschaffene Geschäfte tätigen.
Natürlich kann es während des Kaufprozesses trotzdem zu Meinungsverschiedenheiten kommen. Maschinensucher haftet nicht für Rechtsverstöße der auf Maschinensucher aktiven Käufer bzw. Verkäufer.