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Technische Daten: |
Aetzbank Schmid 57 Dimple ETCH
Baujahr: 2005
Ident-Nr.: 57-05-086 int.
zum Aetzen von Siliziumschichten mit HF, kontinuierlicher Durchlauf
Prozessbadlaenge 500 mm
2 Schwallkaesten, 3-stufig
Spuelcascade
Trocknung mittels Airknives Modul, best. aus:
1 Einlaufmodul
1 Pink-ETCH
1 Cascadenspueler
1 Trockner
1 Auslaufmodul mit Steuerung,
LCD-Display 1 Mouse 1 Tastatur
max. Produktgroesse 1.100 x 1.250 x 3,5 mm,
Durchlaufgeschwindigkeit 0,2 bis 6,0 m/min,
Prozesstemperatur 20 bis 40°C
max. HF Konzentration 15%
Arbeitsdruck 6 bar
Maschine wurde sauber vom Schaltschrank getrennt.
Herstellerpreis: 414000,-€
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